Litografía suave

En tecnología, la litografía blanda es una familia de técnicas para fabricar o replicar estructuras utilizando "sellos elastoméricos, moldes y fotomáscaras conformables". Se llama "suave" porque utiliza materiales elastoméricos, sobre todo PDMS.

La litografía blanda se utiliza generalmente para construir características medidas en la escala de micrómetro a nanómetro. Según Rogers y Nuzzo (2005), el desarrollo de la litografía blanda se expandió rápidamente entre 1995 y 2005. Actualmente, las herramientas de litografía blanda están disponibles comercialmente.

Tipos

• sello PDMS
• Impresión de microcontacto
• Litografía suave multicapa
• Litografía de la nanosfera
• Patterning by etching at the nanoscale

Ventajas

Litografía blanda tiene algunas ventajas únicas sobre otras formas de litografía (como fotolitografía y litografía de haz de electrones). Incluyen lo siguiente:

• Costo menor que la fotolitografía tradicional en producción masiva
• Bien diseñado para aplicaciones en biotecnología
• Bien diseñado para aplicaciones en electrónica de plástico
• Bien adaptado para aplicaciones que implican superficies grandes o no planas (no planas)
• Más métodos de transmisión de patrones que las técnicas tradicionales de litografía (más opciones de tinta)
• No necesita una superficie fotorreactiva para crear una nanoestructura
• Más pequeños detalles que fotolitografía en configuración de laboratorio (~30 nm vs ~100 nm). La resolución depende de la máscara utilizada y puede llegar a 6 nm.